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2021

10-11

環(huán)境掃描電子顯微鏡工作原理：電子與樣品中的原子相互作用，產(chǎn)生包含關(guān)于樣品的表面測(cè)繪學(xué)形貌和組成的信息的各種信號(hào)。電子束通常以光柵掃描圖案掃描，并且光束的位置與檢測(cè)到的信號(hào)組合以產(chǎn)生圖像。掃描電子顯微鏡由電子槍發(fā)射出電子束，在加速電壓的作用下經(jīng)過(guò)磁透鏡系統(tǒng)匯聚，形成電子束，聚焦在樣品表面上，在第二聚光鏡和物鏡之間偏轉(zhuǎn)線圈的作用下，電子束在樣品上做光柵狀掃描，電子和樣品相互作用產(chǎn)生信號(hào)電子。這些信號(hào)電子經(jīng)探測(cè)器收集并轉(zhuǎn)換為光子，再經(jīng)過(guò)電信號(hào)放大器加以放大處理，成像在顯示系統(tǒng)上。環(huán)...

2021

9-16

透射掃描電子顯微鏡的核心優(yōu)勢(shì)介紹，請(qǐng)收好！

透射掃描電子顯微鏡既有透射電子顯微鏡又有掃描電子顯微鏡的顯微鏡，可以將樣品冷卻到液氮溫度，特別適用于觀測(cè)蛋白、生物切片等對(duì)溫度敏感的樣品。通過(guò)對(duì)樣品的冷凍，可以降低電子束對(duì)樣品的損傷，減小樣品的形變，從而得到更加真實(shí)的樣品形貌。透射掃描電子顯微鏡成像是利用會(huì)聚的電子束在樣品上掃描來(lái)完成的。在掃描模式下，場(chǎng)發(fā)射電子源發(fā)射出電子，通過(guò)在樣品前磁透鏡以及光闌把電子束會(huì)聚成原子尺度的束斑。電子束斑聚焦在試樣表面后，通過(guò)線圈控制逐點(diǎn)掃描樣品的一個(gè)區(qū)域。在每掃描一點(diǎn)的同時(shí)，樣品下面的探測(cè)...

2021

9-13

場(chǎng)發(fā)射電鏡真的那么好用嗎？

場(chǎng)發(fā)射電鏡是電子顯微鏡的一種，是以場(chǎng)發(fā)射電子發(fā)射體發(fā)射電子，并以電子束為光源，在真空狀態(tài)下通過(guò)電磁透鏡控制電子束匯集成很小的束斑照射并透過(guò)樣品。由于電子的德布羅意波長(zhǎng)非常短，可以獲得樣品原子級(jí)微觀形貌。其原理是利用二次電子或背散射電子成像，對(duì)樣品表面放大一定的倍數(shù)進(jìn)行形貌觀察，同時(shí)利用電子激發(fā)出樣品表面的特征X射線來(lái)對(duì)微區(qū)的成分進(jìn)行定性定量分析。具有電子束斑小、高分辨率、穩(wěn)定性好等特點(diǎn)。場(chǎng)發(fā)射電鏡有以下幾種用途：1.納米材料基本特性分析：對(duì)有機(jī)、無(wú)機(jī)、納米材料進(jìn)行微觀形態(tài)研究...

2021

9-10

FIB雙束掃描電鏡是什么？他又有那些用途？

隨著半導(dǎo)體電子器件及集成電路技術(shù)的飛速發(fā)展，器件及電路結(jié)構(gòu)越來(lái)越復(fù)雜，這對(duì)微電子芯片工藝診斷、失效分析、微納加工的要求也越來(lái)越高。FIB雙束掃描電鏡所具備的強(qiáng)大的精細(xì)加工和微觀分析功能，使其廣泛應(yīng)用于微電子設(shè)計(jì)和制造領(lǐng)域。FIB雙束掃描電鏡是指同時(shí)具有聚焦離子束(FocusedIonBeam，F(xiàn)IB)和掃描電子顯微鏡(ScanningElectronMicroscope，SEM)功能的儀器。它可以實(shí)現(xiàn)SEM實(shí)時(shí)觀測(cè)FIB微加工過(guò)程的功能，把電子束高空間分辨率和離子束精細(xì)加工的...

2021

9-8

聚焦離子束顯微鏡原來(lái)可以用于這些地方！

聚焦離子束顯微鏡的利用鎵(Ga)金屬作為離子源，再加上負(fù)電場(chǎng)(Extractor)牽引端細(xì)小的鎵原子，而導(dǎo)出鎵離子束再以電透鏡聚焦，經(jīng)過(guò)一連串可變孔徑光闌，決定離子束的大小，再經(jīng)過(guò)二次聚焦以很小的束斑轟擊樣品表面，利用物理碰撞來(lái)進(jìn)行特定圖案的加工，一般單粒子束的顯微鏡，可以提供材料切割、沉積金屬、蝕刻金屬和選擇性蝕刻氧化層等功能。聚焦離子束顯微鏡主要應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路修改、切割和故障分析、TEM制樣等。1.精細(xì)切割及材料蒸鍍：利用顯微鏡可以在素玻璃上分別進(jìn)行鎵離子精細(xì)切割及...

2021

8-24

FIB雙束電鏡是什么？有哪些功能？

隨著半導(dǎo)體電子器件及集成電路技術(shù)的飛速發(fā)展，器件及電路結(jié)構(gòu)越來(lái)越復(fù)雜，這對(duì)微電子芯片工藝診斷、失效分析、微納加工的要求也越來(lái)越高。FIB雙束電鏡所具備的強(qiáng)大的精細(xì)加工和微觀分析功能，使其廣泛應(yīng)用于微電子設(shè)計(jì)和制造領(lǐng)域。FIB雙束電鏡系統(tǒng)是指同時(shí)具有聚焦離子束和掃描電子顯微鏡功能的系統(tǒng)，可以實(shí)現(xiàn)SEM實(shí)時(shí)觀測(cè)FIB微加工過(guò)程的功能，把電子束高空間分辨率和離子束精細(xì)加工的優(yōu)勢(shì)集于一身。其中，F(xiàn)IB是將液態(tài)金屬離子源產(chǎn)生的離子束經(jīng)過(guò)加速，再聚焦于樣品表面產(chǎn)生二次電子信號(hào)形成電子像，...

2021

8-22

FIB顯微鏡的原理和作用，快來(lái)了解一下吧！

隨著納米科技的發(fā)展，納米尺度制造業(yè)發(fā)展迅速，而納米加工就是納米制造業(yè)的核心部分，納米加工的代表性方法就是聚焦離子束。近年來(lái)發(fā)展起來(lái)的聚焦離子束(FIB)技術(shù)利用高強(qiáng)度聚焦離子束對(duì)材料進(jìn)行納米加工，配合FIB顯微鏡等高倍數(shù)電子顯微鏡實(shí)時(shí)觀察，成為了納米級(jí)分析、制造的主要方法。目前已廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路修改、切割和故障分析等。FIB顯微鏡的工作原理：聚焦離子束(FIB)轟擊樣品表面，激發(fā)二次電子、中性原子、二次離子和光子等，收集這些信號(hào)，經(jīng)處理顯示樣品的表面形貌。聚焦離子束的...

2021

8-20

TEM掃描電鏡能通過(guò)哪些信號(hào)得到被檢測(cè)樣品信息？

TEM掃描電鏡的制造是依據(jù)電子與物質(zhì)的相互作用。當(dāng)一束高能的入射電子轟擊物質(zhì)表面時(shí)，被激發(fā)的區(qū)域?qū)a(chǎn)生二次電子、俄歇電子、特征x射線和連續(xù)譜X射線、背散射電子、透射電子等多種的信號(hào)，以及在可見、紫外、紅外光區(qū)域產(chǎn)生的電磁輻射。同時(shí)，也可產(chǎn)生電子-空穴對(duì)、晶格振動(dòng)(聲子)、電子振蕩(等離子體)。原則上講，利用電子和物質(zhì)的相互作用，可以獲取被測(cè)樣品本身的各種物理、化學(xué)性質(zhì)的信息，如：形貌、組成、晶體結(jié)構(gòu)、電子結(jié)構(gòu)和內(nèi)部電場(chǎng)或磁場(chǎng)等等。TEM掃描電鏡正是根據(jù)上述不同信息產(chǎn)生的機(jī)理，...

2021

8-18

你知道透射電鏡是由哪幾個(gè)部分組成的嗎？

透射電鏡結(jié)構(gòu)主要分為電子光學(xué)、真空系統(tǒng)和供電控制系統(tǒng)三個(gè)部分。一、透射電鏡電子光學(xué)部分：整個(gè)電子光學(xué)部分*置于鏡筒之內(nèi)，自上而下順序排列著電子槍、聚光鏡、樣品室、物鏡、中間鏡、投影鏡、觀察室、熒光屏、照相機(jī)構(gòu)等裝置。根據(jù)這些裝置的功能不同又可將電子光學(xué)部分分為照明系統(tǒng)、樣品室、成像系統(tǒng)及圖像觀察和記錄系統(tǒng)。1.照明系統(tǒng)：照明系統(tǒng)由電子槍、聚光鏡和相應(yīng)的平移對(duì)中及傾斜調(diào)節(jié)裝置組成。它的作用是為成像系統(tǒng)提供一束亮度高、相干性好的照明光源。電子槍由陰極、柵極和陽(yáng)極構(gòu)成。在真空中通電...

2021

8-18

FEI掃描電鏡的哪些功能是我們不知道的？

FEI掃描電鏡專為細(xì)胞、細(xì)胞器、石棉、聚合物和軟材料等在環(huán)境溫度和低溫下的二維和三維成像而設(shè)計(jì)。以其可選的、可伸縮的冷凍箱和低劑量技術(shù)提高了電子束敏材料的成像質(zhì)量。此外，可以在配置中添加側(cè)插式可伸縮能量色散光譜(EDS)探測(cè)器，以實(shí)現(xiàn)精確化學(xué)分析。超大間隙的C-Twin極靴提供了*的應(yīng)用靈活性，再加上超高穩(wěn)定性的電子鏡筒，為高分辨率三維表征、原位動(dòng)態(tài)觀察和衍射應(yīng)用提供了新的機(jī)會(huì)。FEI掃描電鏡具有高對(duì)比度、高質(zhì)量的TEM和stem成像，可同時(shí)檢測(cè)多種信號(hào)，并可采用四通道集成s...

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